可三維堆疊鰭式及超薄通道電晶體 - 國家奈米元件實驗室

可三維堆疊鰭式及超薄通道電晶體 - 國家奈米元件實驗室

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日期:2024-06-09
成長高品質的多晶矽材料,我們稱之為“類晶矽”(Epi-like Si),其材料特性已接近. 結晶矽,我們將其製作成鰭式電晶體(Fin Field-effect Transistor, FINFETs) 及超薄通....看更多