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半導體：Semiconductor [優志旺股份有限公司]
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日期：2024-06-16
Halogen Heater是可以實現其他熱源所無法達到「快速升降溫及非接觸式加熱」效果的熱源，而且可以因應從100 C低溫區域到1200 C 高溫區域的寬廣溫度範圍。 在現今的半導體製程中，氧化膜的形成、淺接面的形成、矽化物的形成或CVD‧濺鍍裝置的熱源，另外 ......看更多
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