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（110）基板上之P型穿隧式場效電晶體 - 國家奈米元件實驗室
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日期：2024-05-13
式場效電晶體（TFETs）有ON／OFF切換陡峭特性，此特. 性運用在新 ... 關比（ON／
OFF ratio）較低，約在（~102-103）[8,9]。最 ... 利用乾蝕刻（Dry Etching）定義TiN及....看更多
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