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2.2 濺鍍原理 - 中文查詢介面 - 國立中央大學
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日期：2025-05-31
本論文將介紹在射頻磁控濺鍍系統中加入離子輔助法(IAD)製鍍紫外 ..... 電子束轟擊、電漿助鍍、離子披覆等方法，這其中以離子助鍍法效果. 最為明顯。 近幾十年來，在 ......看更多
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