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3-14晶圓廠的潔淨室 - 產業技術
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日期：2025-05-02
2012年8月4日 - 潔淨室(Clean room)又稱「無塵室」，在晶圓廠中俗稱「Fab」，指的就是「製造 ... 以十二吋晶圓「0.13μm(微米)製程」為例，定義其潔淨等級如下：....看更多
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