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31.汞探針量測系統及其在介電薄膜特性分析上之應用簡介
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日期：2025-05-19
薄膜形成後之無圖形晶片表面作電性量測， ... 性。當使用內建的汞探針進行量測時，待測. 晶片正面朝下置於探針基座，藉由真空的牽 ... 二、量測原理概說及主要特性....看更多
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