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6-2 單層膜應力量測 - 中文查詢介面 - 國立中央大學
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日期：2025-05-29
2-3 理論探討. 2-3-1 薄膜內應力. 2-3-2 薄膜中的雙軸應力. 2-3-3 能量法推導單層膜
應力公式. 2-3-4 熱應力之探討. 2-4 內應力的成因. 第三章薄膜應力量測技術....看更多
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