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CMOS 製程相容之量測熱導率微元件模擬, 設計與製作
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日期：2025-12-11
2013年10月16日 ... 微元件主要包含四個部份：加熱器、溫度感測器、待測薄膜以及導熱層，其中導熱層的
設計可使微元件在量測薄膜熱導率上比文獻所提到的微元件更加 ......看更多
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