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CMOS製程相容之量測熱導率微元件模擬、設計與製作__臺灣博碩士 ...
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日期：2025-05-11
本論文的研究主旨在模擬、設計並製作出一相容於CMOS製程的量測薄膜熱導率微
元件。微元件主要包含四個部份：加熱器、溫度感測器、待測薄膜以及導熱層，其中 ......看更多
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