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CMOS-MEMS低功率壓力感測系統單晶片(SSoC)__國立清華 ...

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日期：2025-05-14
其設計原理是利用半導體材料POLY SILICON之壓阻(PIEZORESISTIVE)特性，並設計成四個電阻之電橋 ... 論文基本資料; 摘要; 目次; 參考文獻; 電子全文 ... 論文名稱: CMOS-MEMS低功率壓力感測系統單晶片(SSoC) ... 4.2 電阻式壓力感測器設計18...看更多

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