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EE143 F2010 Lecture 10 Dopant Diffusion (1) Predeposition

EE143 F2010 Lecture 10 Dopant Diffusion (1) Predeposition

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日期：2026-04-22
Professor N Cheung, U.C. Berkeley EE143 F2010 Lecture 10 1 Dopant Diffusion (1) Predeposition dopant gas SiO2 SiO2 Si dose control (2) Drive-in Turn off dopant gas or seal surface with oxide SiO SiO2 2 Si SiO2 Doped Si region profile control (junction dep...看更多

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