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EUV/Holistic雙箭齊發 ASML再創微影新局 - 懂市場 - 新電子科技雜誌
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日期:2025-06-26
Kool強調,EUV微影系統將是未來半導體製程微縮最具經濟效益的量產技術。該公司預估2012年開始,EUV微影系統將可正式進入量產運作階段。 據了解,目前ASML已分別獲得來自全球三大洲、包括記憶體及邏輯晶片製造商的EUV微影系統訂單。...看更多