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FIB 原理
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日期：2025-05-27
離子(高速)撞擊物質表面,會有: 原子移位.(displacement of lattice atoms) 表面濺擊(surface sputtering or formation of defect.) 轟出中性粒子或二次離子 二次電子(Secondary electrons). X rays & optical photon emission. 功用: 二次電子:可用於成像(離子束顯微鏡,倍率可 ......看更多
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