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IC製程技術—Introduction & Thermal Process

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日期：2025-12-12
15 迷你環境(Mini-environment) Class 1000 等級的無塵室，較低的成本 Boardroom arrangement，沒有牆隔離製程 與設備 比class 1 等級高的環境，環繞在晶圓和製程 工具四周 各製程工具間具自動化的晶圓移轉...看更多

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