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ITO 薄膜之蝕刻速率與表面粗糙度於不同蝕刻液及溫度下之探討

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日期：2025-12-13
關鍵字：ITO 薄膜蝕刻、ITO 玻璃、蝕刻速率、薄膜表面粗糙度、表面平整度. 1. 前言. 在實驗室製作生物晶片時，研究者常使用 ......看更多

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