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KrF準分子雷射再結晶非晶矽薄膜應用於太陽能電池之研究
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日期：2025-05-30
2.3 固相結晶法 12 2.3.1 高溫爐管之固相結晶法12 2.3.2 光熱回火 12 2.4 Ar+雷射區域熔融再結晶 13 2.5 準分子雷射結晶 15 2.5.1 爆炸再結晶 16 2.5.2 超級側向生長 ......看更多
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