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Lab2 二氧化矽(SiO

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日期：2025-05-19
的幾何 結構。一般矽 結構的非等向蝕刻以氮化矽(LPCVD SiNy)作為蝕刻遮罩，因氮化矽 幾乎不會受到TMAH 與KOH 的 ......看更多

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