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MEMS製程日新月異 感應器巧扮創新火車頭 - 技術前瞻 - 新通訊元件雜誌
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日期：2024-04-10
以豐田汽車(Toyota)所製造的偏航速率加速度感應器來說，晶片呈水平安置，因驅動電極產生的兩個靜電力左右音叉振動，位於晶片左右兩端的配重會由於科里奧利力(Coriolis Force)(註)前後差動振動，此時使用檢測電極檢測靜電容量便可得知偏航速率。...看更多
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