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MFC: Theory and Applications
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日期：2025-05-22
MFC (Mass Flow Controller) 質流控制器. – 利用熱感溫差、非接觸的方式測量氣體
的質. 量流速. – 不同於一般測量體積流速的方法，所以能夠. 避免環境壓力與氣體 ......看更多
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