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NTUME MEMS微機電實驗室

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日期：2025-06-01
本研究提出創新性電容感測器結構。此種設計不但可簡化製造程序，更具有高可靠度的特性。本研究之電容式觸覺感測陣列採用微機電製程及軟性電路板技術製作而成。電容式觸覺感測陣列則是由兩層 PDMS 結構與一層軟性電路板所構成。...看更多

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