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Nanoimprint Lithography - 國立中央大學
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日期:2024-04-22
1993年6月25日 ... 論文名稱: 奈米壓印微影技術之脫模劑與表面能的研究. 指導教授 ... 奈米微壓印製程
主要仰賴mold 與光阻間的. 接觸,是故 ...... 行介紹,也對於此技術使用的光罩之特性
與曝光原理做說明。 5 ......看更多