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National Tsing Hua University Institutional Repository: 濺鍍玻璃薄膜用於矽晶片陽極接合之研究
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日期：2024-04-28
在研究中， 我們探討了濺鍍及陽極接合技術的基本原理，並以穩健設計的方法製作濺鍍玻璃薄膜，也分析了接合電流的模 型和特性。 最後我們去分析玻璃薄膜的成分，並做陽極接合後之接合強度測試。 我們了解濺鍍玻璃薄膜製作，濺鍍機的電漿功率 ......看更多
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