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日期：2025-05-20
A: 電漿濺鍍法係在低真空度中(一般為在真空中充氬氣-Ar)及高電壓下產生輝光放電形成電漿，攜帶能量之正離子(Ar+)飛向陰極，轟擊陰極之薄膜材料(稱之為靶 ......看更多
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