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日期：2025-10-06
(d)為飽和遷移率(μsat) 。 (a)和(c)沉積a- IGZO薄膜的氧分壓為1.3×10-3 Pa ，(b)和(d)沉積a- IGZO薄膜的氧分壓為 ......看更多

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