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Sillitronics | note to electrical and electronics
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日期：2025-04-30
氮化矽是一種介電常數較高（約為 7 左右）、硬度強、緻密的介電材料。 氮化矽的研磨速率比二氧化矽的研磨速率低，因此在淺溝槽絕緣形成的製程中，也被當作化學機械研磨的停止層。 氮氧化矽是一種新型的薄膜材料，具有優良的光電性能、機械性能 ......看更多
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