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Spin Coater 1 操作手冊
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日期:2025-05-05
儀器原理. 微影製程包括三個主要步驟:光阻塗佈、曝光和顯影。本機台主要是應用在第一階段的光阻塗佈。 ... Clean)、去水烘烤(Dehydration Bake)、塗底(Priming) 和光阻旋轉塗佈(Spin ......看更多