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Thin Film Piezoelectrics for MEMS - Welcome to Materials Research Institute at Penn State - mainta

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日期：2025-10-03
Thin Film Piezoelectrics for MEMS 9 Fig. 1. Electrode systems for driving piezoelectric films: (a) Planar capacitor structure with top and bottom electrodes. (b) Electric field with interdigital electrodes. (c) Case of polar film with uniform per-pendicular ...看更多

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