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chapter6 - NET-Messena index japanese

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日期:2025-05-22
6.1 まえがき FBAR とは Film Bulk Acoustic Resonator の略で、日本語で圧電薄膜共振子と呼ばれている。図表 6.1 にその構造を示す。FBAR とは基本的には第2章で述べたようなバルク波振動を用いた共振子であるが、高周波化に対応するために、圧電体を削ること ......看更多