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關於無塵室? - Yahoo!奇摩知識+

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日期：2024-05-27
在 Classes 100 (M3.5) and Greater (Class 100，1000，10000....) ，一般看一個粒徑即可。在 Classes Less than 100 (M3.5) ... Fed-Std-209E 潔淨度定義 Class Name Class Limits 0.1μm 0.2μm 0.3μm 0.5μm 5μm Volume Units Volume Units Volume Units (ft3) ......看更多

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