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p023 太陽能電池電漿鍍膜設備關鍵模組技術簡介 ... - 機械工業雜誌
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日期：2025-05-07
電漿輔助化學氣相沉積PECVD. ‧物理氣相沉積. PVD. ‧抗反射. Anti-Reflection. 摘要.
PECVD 鍍膜設備為太陽電池製程最關鍵的生產. 設備，幾乎任何世代的太陽電池 ......看更多
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