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Chapter 10 化學氣相沉積與介電質薄膜
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日期：2025-05-05
加熱成長. ‧氧來自氣相的氧. ‧矽來自基片. ‧薄膜成長氧進入基片. ‧品質較高. CVD. ‧氧和矽都 ... PECVD ：電漿增強型化學氣相沉積法 .... 高密度電漿CVD(壓力數毫托) ......看更多
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