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Si矽基板清洗溶液(HF氫氟酸) - Yahoo!奇摩知識+

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日期：2025-11-20
2008年3月17日 ... 請問大家:矽基板(111)如果使用10%HF清洗過久,會發生什麼問題嗎?目前發現一個 問題,矽基板清洗過後,蒸鍍Ti/Au量測表面particle時,有線條狀 ......看更多

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