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日期：2026-04-25
SOG spin on glass coating。旋轉塗佈 ... SOG是將含有介電材料的液態溶劑以旋轉
塗佈(spin Coating)方式，均勻地塗佈在晶圓表面，以填補沉積介電層凹陷的孔洞。...看更多
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