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Lithography introdution
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日期:2024-06-12
... 圖案誤差增加,所以負光阻. 較不適合小於3um以下之製程技術。 ... 乎所有光阻塗 佈皆以旋轉塗蓋(Spin coating)來進行,如下圖所示。 光阻厚度除與光阻液黏性有關 ......看更多