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spin coating 製程,spin coating 原理條目|愛維基
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日期：2025-06-01
關於spin coating 製程以及,spin coating 原理,spin coating 製程都在愛維基。iWiki ... 解釋頁 為半導體製程上主要的局部性平坦化技術。SOG是將含有介電材料的液態溶劑以旋轉塗佈(spin Coating)方式，均勻地塗佈在晶圓表面，以填補沉積介電層凹陷的孔洞。...看更多
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