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  請問何謂微機電?? - Yahoo!奇摩知識+
  
  請問何謂微機電?? 發問者：匿名發問時間： 2005-10-18 20:40:30 解決時間： 2005-11-05 12:13:51 解答贈點： 10 ( 共有 0 人贊助) 回答： 2 評論： 0 意見： 3 [ 檢舉] ...
  
  2024-04-26
  
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  何謂微機電系統？?? - Yahoo!奇摩知識+
  
  何謂微機電系統？它的優點是什麼？比較它與半導體積體電路(IC)特性的差別。~~~知道的人告訴我吧~~ ... 微機電系統(micro electrical mechanic system, MEMS)與半導體積體電路(IC) 因為體積都很小，所以都是用 "半導體製程" 製作出來的裝置
  
  2024-04-24
  
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日期：2024-04-22

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高科技產業概況 – 微機電產業分析與介紹

日期：2024-04-21

... 是目前科技界公認最具未來發展潛力及前瞻性的研究領域二、微機電系統產業概況何謂微機電系統技術（Micro Electro-Mechanical System, MEMS）？是一種結合光、機、電、材、控制、物理、生醫、化學等多重技術領域之整合型與微小化系統...

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微機電系統 - 維基百科，自由的百科全書

日期：2024-04-23

微機電系統（英語：Microelectromechanical Systems，縮寫為MEMS）是將微電子技術與機械工程融合到一起的一種工業技術，它的操作範圍在微米範圍內。比它更小的，在納米範圍的類似的技術被稱為奈機電系統。微機電系統在日本被稱作微機械（英語：micromachines ......

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SEMI - MEMS 微機電 | SEMI TAIWAN

日期：2024-04-22

矽品等大廠雖說現階段還未有較明顯的動作，但還是向設備商積極表明願意聽聽看到底何謂MEMS。詳全文關於SEMI 全球據點社團組織新聞中心 SEMI獎項 SEMI 基金會聯絡我們 SEMI 全球電子報產業動態晶圓製程組裝/包裝測試材料致能產品 ......

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4-1微機電系統(Micro Electro Mechanical Systems)

日期：2024-04-21

4-1微機電系統(Micro Electro Mechanical Systems) 詳細內容發佈於：2012-08-04, 週六 21:35 微機電系統簡介利用黃光微影、摻雜技術、蝕刻技術、薄膜成長等半導體的製程技術，製作微小的機械元件、光學元件與電子元件，並且將所有元件整合成單一的系統製作 ......

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