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日期:2024-05-05
微機電(MEMS)已經成為行動裝置重要元件,雖然目前大量使用的MEMS元件,主要以陀螺儀(Gyroscopes)、加速度計(Accelerometer)、電子羅盤(eCompass))等3種為主,但隨...
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日期:2024-05-05
流程,並如何利用CMOS MEMS 製程平台製造與整合。 方維倫、 .... 感測原理相同, 且單一組彈簧與感測電極僅可作單....
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日期:2024-05-09
公 司 簡 介 嘉晶電子結合國內電子材料、磊晶製程及半導體設備等各方面具有多年經驗之技術團隊,於民國八十七年十一月九日在新竹科學工業園區成立嘉晶電子股份有限公司,成為國內專業磊晶矽晶圓廠。...
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日期:2024-05-08
TSV製程範例 以下將以Tessaron之先導孔(Via First)製程為例子(圖5),進而說明TSV技術之應用發展狀況[16]。首先將兩片晶圓以面對面方式(Face to Face)進行堆疊,採用銅對銅(Copper to Copper)接合作導線垂直互連,此法又稱為超導孔技術(Super Via ......
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日期:2024-05-05
徐永珍教授 學歷: 清華大學電機博士 專長: 高頻元件及積體電路、多孔矽技術、矽基光電元件、感測積體電路技術 電話: (03)5742594 信箱: yjhsu at ee.nthu.edu.tw 黃惠良教授 學歷: 美國布朗大學電機博士 專長:...
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日期:2024-05-07
微機電系統技術可用來製造低成本的感測器及致動器,目前應用微機電系統技術製作 的產品有壓力計、生化感測器、加速計、 ......
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日期:2024-05-06
生醫感測元組件)及光機電系統控制與整合兩方面做尖端科技技術 ... 接研究所的課程 ,以提升我國產業的競爭力。 光機電 ......
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日期:2024-05-11
微機電製程簡介. 授課老師:. 林志龍. 矽的精製. •石英岩、木炭、焦煤和木屑放置於 浸入式電極電弧爐中, 加熱 ......