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日期：2025-05-01
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日期：2025-05-01
旋轉塗佈(Spin Coating)： 旋轉夾盤(spin chuck)利用真空吸住玻璃基板後，將化學
物質（像半導體或TFT廠用光阻）由上方噴嘴(Nozzle)滴在玻璃或晶圓片上， ......
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日期：2025-05-01
2008年7月10日 ... 本研究以TFT-LCD 業未混雜到其他溶劑，且經過旋轉塗佈製程後，被甩離玻 ... 本
研究之塗佈膜厚預測方程式ln(THf) = 3.523 + 1.424 ln(S.C.) + 0.446 ...... 將光阻劑
均勻塗佈在玻璃基東之上，旋轉塗佈(Spin Coating)的製程原理，是利....
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日期：2025-04-24
1. 旋轉塗佈手指狀不穩定之控制. 主持人：周復初博士. 計畫編號：NSC 94-2212-E-
008 -019. 一、前言. 旋轉塗佈之原理是利用馬達. 帶動一轉盤，吸附著晶圓進行旋....
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日期：2025-04-28
儀器原理. 微影製程包括三個主要步驟：光阻塗佈、曝光和顯影。本機台主要是應用 ...
Bake）、塗底（Priming）和光阻旋轉塗佈（Spin Coating）、軟烤（Soft Bake）、對準和 ......
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日期：2025-04-27
將採用旋轉塗佈法(Spin coating)來製備感測薄膜於EIS 結構上。旋轉塗佈法. 的原理(
參見圖2.1) [22]，首先是將基板置於旋轉檯中央，再滴上定量的溶. 液於基板上( ......
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日期：2025-04-28
Spin coating is a procedure used to deposit uniform thin films to flat substrates.
Usually a small amount of coating material is applied on the center of the ......
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日期：2025-04-30
Spin Coating Process Theory. Spin coating has been used for several decades
for the appli- ... One of the most important factors in spin coating is repeatability....
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