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me.hfu.edu.tw中心，利用塗佈機旋轉之方式，以離心力的. 原理將光阻均勻的分佈於晶圓表面，而旋轉. 塗佈機可設定兩組 ...瀏覽：335 -
![光罩對準曝光機]()
hmlt-lab.phys.nchu.edu.tw空有確實吸附(參考光阻塗佈機check 步驟，轉速設定初轉為1000rpm，末轉為 ... 會 比中央厚，接著以末轉轉速6000 rpm旋轉30 秒，使光阻液均勻塗佈於試片上，.瀏覽：915
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考光阻塗佈機check 步驟，轉速設定初轉為1000rpm，末轉為5000rpm。本實驗室 ...
旋轉器先以初轉轉速1000 rpm旋轉10 秒，接著以末轉轉速5000 rpm 旋轉20 秒，....
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2013年6月19日 ... 呃~很简单啊 1. 想像倒水到一块倾斜的玻璃,水流会是一条线而不是一个面,涂布如果
马上快转,涂布液会顺着一条线抛出去而不会均匀在整个面 2....
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旋轉塗佈初轉與末轉的目的? 發問者： ￡幻冰〃 ( 初學者 5 級) 發問時間： 2013-06-13 16:43:45 解決時間： 2013-06-20 17:03:03 解答贈點： ......
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旋轉塗佈初轉與末轉的目的? - ㄟ~很簡單啊1. 想像倒水到一塊傾斜的玻璃,水流會是一條線而不是一個面,塗佈如果馬上快轉,塗佈液會順著一條線拋出去而不會均勻在整個面2. ......
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預塗表面對 旋轉塗佈的影響 指導教授： 周 復 初 博士 研 究 生： 余 宣 魁 中 華 民 國 八十九 年 七 月 ... 圓表面的摩擦力，以達到更容易完成 ......
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息相關的，在我們對於 旋轉塗佈 機的轉速和 時間進行微調時發現；光阻 塗佈的厚度與轉 速和時間都是成反比，只是在於厚度下降的 ... 時發現到了 ......
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