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![超高真空系統測漏標準作業程序]()
ltlw3.iams.sinica.edu.tw真空系統不可能完全不漏氣，因此只要漏氣率符合真空腔體出廠時的規格即可。 3. .... 在幫浦附近使用酒精測漏時，應注意酒精用量。 Figure 4. 酒精測漏法操作示意圖. Page 6. 五、超高真空度的測漏方法：氦氣測漏儀(Helium Leak Detector). 1. 儀器在 ...瀏覽：357
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真空測漏之基本概念; 漏氣量與漏氣位置之測定; 測漏方法; 氦氣測漏儀 ... 理論上，任何元件、裝置或系統都無法絕對不漏氣，但必須夠小以符合使用之要求，各種不同 ......
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正壓充氣法. 真空罩內抽真空. 待測物充以示漏氣體. 氦氣測漏儀. 漏氣孔. ※將待測物以 ... 為了判定漏氣點，在此介紹以下兩種常被採. 用方式：. (1)真空法輔以噴氣探針....
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1 Detection technique; 2 Types of leaks; 3 Uses; 4 Test methods. 4.1 Global helium spray - vacuum test; 4.2 Local helium spray - vacuum test; 4.3 Helium ......
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