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![歡迎光臨~奈米實驗教學網--奈米球之乾式蝕刻]()
www2.nuk.edu.tw乾式蝕刻簡介 所謂的乾蝕刻 ，主要是利用電漿 (Plasma)，而非濕式的溶液來對薄膜進行侵蝕的一種技術，因為蝕刻反應不涉及溶液，所以稱之為乾式蝕刻。其主要優點是蝕刻為非等向性，亦即垂直方向的速率遠大於橫向的速率 ...瀏覽：832 -
![電漿源原理與應用之介紹]()
psroc.phys.ntu.edu.tw電漿科技已廣泛應用於科學研究及工業製程，成為現代科技的重要指標。本文將介紹 國內在 ... 感應機制與與變壓器原理相同，其中線圈為變壓器之. 一次側(primary)， ...瀏覽：818
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電離. 子所構成. 1. 游離率主要決定於電漿中的電子能量. 2. 在大部分的電漿製程反應
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2011年5月20日 ... 目前電漿技術已廣泛應用於各產業上，如：光電與半導體產 ... 漿技術之原理、發展與
應用做一深入探討。 電漿簡介. 電漿態(plasma)是人類繼固、液、 ......
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2-2 大氣電漿設備原理[2] 氧氣經由電漿解離，會產生大量的自由基粒子(如下式)，這些自由基粒子會與碳氫化合物及表面的氧化物起反應，尤其其中的氧自由基容易與油性物質或與低分子有機物產生揮發性的產物，輕易的被鈍性氣體帶走。如 ......
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在實際操作上為了提高清潔效果必需提高電漿系統的壓力。 圖2-2：大氣電漿示意 2-2 大氣電漿設備原理[2] 氧氣經由電漿解離，會產生大量的自由基粒子(如下式)，這些 ......
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電漿為一部份離化之氣態，電漿中含有中性的氣體分子、離化的分子、激. 態分子及 ... 三、電漿原理 ..... 大氣電漿，其原理大致相同，主要為電極設計不同造成的差異。...
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氧電漿可快速地使高分子形成自由基,然後可快速地與氧自由基或氧分子反應,可迅速氧化材料表面. 此外, 電漿化學的工業上利用是在半導體積體迴路的製造上有劃時代的成功,初期以氧電漿氧化除去矽基板上的photoresist,不久開發利用freon電漿中生成之原子狀 ......
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