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![電漿源原理與應用之介紹]()
psroc.phys.ntu.edu.tw文/張家豪，魏鴻文，翁政輝，柳克強 李安平，寇崇善 吳敏文，曾錦清，蔡文發，鄭國川 摘要 電漿科技已廣泛應用於科學研究及工業製程，成為現代科技的重要指標。本文將介紹國內在電漿源方面的研發，其中包括電感式電漿源，微波表面波電漿源 ...瀏覽：1429 -
![Chapter 7 電漿的基礎原理 - 義守大學 I-Shou University]()
www.isu.edu.tw電漿的基礎原理 2 目標 • 列出至少三種用到電漿的半導體製程 • 列出電漿中的主要三種碰撞 • 說明平均自由路徑 • 說明電漿如何增強蝕刻及CVD 製程 • 列出兩 ...瀏覽：1321
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日期：2024-04-17
電漿原理 介紹 I. Principles of Plasma Generation + e-e-neutral atom ( Kinetic Energy ) gained = F．d = qξ．λ = q ( V/d e)λ λ: mean free path d e: electrode distance ξ: electric field V : electrode ......
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日期：2024-04-19
電漿原理 Author ui Last modified by ui Created Date 12/7/2012 1:03:00 AM Company ui ......
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日期：2024-04-21
黃教授: 最近小弟對電子安定器很有興趣,有考慮把家中的日光燈進行全部更換. 但有一些疑問,我想您應該是這方面的專家,所以特來請教.問題如下: 廠商號稱電子式 ......
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日期：2024-04-15
2. 目標. • 列出至少三種用到電漿的半導體製程. • 列出電漿中的主要三種碰撞. • 說明平均自由路徑. • 說明電漿如何增強蝕刻及CVD 製程. • 列出兩種高密度電漿源 ......
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日期：2024-04-18
2013年4月12日 ... 電漿工程原理. 與應用. 詹德均. 核能研究所物理組. 1. 核能研究所物理組. TEL: 03-
4711400 ext.7440 mail: djjan@iner.gov.tw. Plasma Engineering ......
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日期：2024-04-20
2010年4月2日 ... Valve. Pump. DC. Power. 解離反應 e-+X. 2. 2X+e-. 激發反應 e-+X. X*+e-. 離子化
反應e-+X. 2. X. 2. ++2e- e-+X. 2. 2X++3e-. 電漿原理介紹 ......
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日期：2024-04-21
電漿為一部份離化之氣態，電漿中含有中性的氣體分子、離化的分子、激. 態分子及 ... 三、電漿原理 ..... 大氣電漿，其原理大致相同，主要為電極設計不同造成的差異。...
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