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![濺鍍原理]()
ljuhv.com濺鍍原理 2009-01-26 更新 濺鍍原理 在高溫被離子化的氣體極稱為電漿(plasma)。基本上電漿是由部 份解離的氣體及等量的帶正、負電荷粒子所組成，其中所含的氣體具備高度的活性，通常是利用外加電場的驅動而形成，並且會產生輝光 放電(Glow Discharge)的 ...瀏覽：1437 -
![電漿反應器與原理]()
ebooks.lib.ntu.edu.tw本文先對電漿現象及原理作概述，再針對電漿應用. 到蝕刻、濺鍍及輔助 ... 異，而一般用在PECVD 鍍膜的電漿源其解離率小於1%，近幾年由於對鍍膜要. 求的嚴苛， 如 ...瀏覽：736
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日期：2024-04-25
作用原理. 圖二、電漿形成示意圖. 見圖二一個真空腔內，有一對平行電板分別接上
正負電。當真空腔內的一些自由電子被吸引 ......
瀏覽：618
日期：2024-04-18
另外在半導封裝及紡織業方面，則使用電漿來清潔及改變材料表面以達到特殊的功能
及效果。在環保方面,電漿火炬可以安全固化焚化爐所產生之高污染灰渣。甚至在 ......
瀏覽：509
日期：2024-04-18
2013年9月1日 ... 1物理原理. glow discharge. 低壓氣體中顯示. 輝光放電. 輝光的氣體放電(空氣中的
電子大概在1000對/cm,由於高壓放電現象在低氣壓狀態下會產生 ......
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日期：2024-04-24
第四章電漿放電基本原理 ...... 其中下標e 為電子、i 為離子，而且ve 遠大於vi ，對於
輝光放電的氬氣 .... 圖一五三輝光放電中陰極前方電位下降區電荷交換反應示意圖....
瀏覽：541
日期：2024-04-21
輝光放電為濺鍍最基本的方法，其氣體壓力約在103~l0 pa的真空腔體內，於二電極
間間加以(1)高電壓(2)低週波的交流高電壓(3)直流電壓，兩極間即會產生放電現象，
......
瀏覽：687
日期：2024-04-24
陰極板的負電壓 吸引加速，轟擊陰極靶材表面，且隨著電流密度增大，電壓也會 隨著增加，也就能是提高濺鍍功率，使效率增加 ... 頻率為13.56MHz 絕緣靶材上因自我偏壓效應形成直流補償負電 位，吸引電漿中 的正離子轟擊靶材，使的靶材原子或分子附著 ......
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日期：2024-04-20
2-3 直流輝光放電(D.C glow discharge) 2-3.1 直流輝光放電特性 2-3.2 陰極暗區 2-3.3 電漿 輝光放電區 2-3.4 陽 ......
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