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Sputter.doc - 輔仁大學物理系
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日期：2025-06-30
作用原理. 圖二、電漿形成示意圖. 見圖二一個真空腔內，有一對平行電板分別接上
正負電。當真空腔內的一些自由電子被吸引 ......看更多
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