search:真空蒸鍍機e-gun原理相關網頁資料

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    日期:2024-05-17
    2003年6月12日 - 關於濺鍍部分,我們在磁控濺鍍機的操作原理中另外說. 明。接下來 ... 圖2-1 顯示一個簡易的真空蒸鍍機(Vacuum Evaporator)的示意圖。它主要是由 ......
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    日期:2024-05-16
    2005年4月6日 - 2. 依蒸發源分類. ▫ 真空蒸著(Evaporation) ... 電子槍蒸著法(E-Gun Evaporation). ▫ 中空陰極蒸著 ... 控制鍍膜組成與特性之蒸鍍製程,稱為. 離子鍍。 ▫ 離子鍍通常需於基材上施加負偏壓,以. 吸引離子之撞擊, ... 電子槍離子鍍原理....
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    日期:2024-05-18
    E-Beam蒸鍍原理;利用高壓電使鎢絲線圈產生電子後,利用加速電極將電; 坩堝加熱技術 ... 機台全景;日本真空機台;富臨機台; E-Beam蒸鍍系統之次系統;?真空腔體? ... 設備結構;坩鍋及擋板;E-Gun; 設備結構二;機械式真空pump;Cryopump;操作面....
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    日期:2024-05-17
    電子鎗蒸鍍法是從高熔點金屬被加熱到高溫時,以及自輝光放電的電漿(Electron Beam Gun中取出電子,再對電子施以電場 ... 電子束加速的原理是由於電子帶有電荷,所以可以施以電場加速,亦即施以V電位差,則電子束所擁有的動能為1/2 meV2=eV,me為電子質量。 ... 蒸鍍完成後再等一段時間,讓材料分子稍微冷卻,再破真空。...
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    日期:2024-05-17
    2012年8月14日 - E-Beam蒸鍍原理利用高壓電使鎢絲線圈產生電子後,利用加速電極將電子 ... 設備機台全景日本真空機台富臨機台 E-Beam蒸鍍系統之次系統? ... 晶片承載裝置 設備結構坩鍋及擋板E-Gun 設備結構二機械式真空pump Cryo pump ......
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    日期:2024-05-20
    E-gun 電子槍蒸鍍系統使用規範. 一、目的:為 ... 系統原理口試. 5. ... E-GUN 使用後須將chamber 及E-GUN 四周清理乾淨,並且待控制面板上的離子真空計變. 為紅燈 ......
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    日期:2024-05-19
    相較於熱蒸鍍的方式電子束蒸鍍的方法有其下列的優點。 ... 圖(二)為蒸鍍機的坩鍋, 圖(三)為整個E-GUN的結構示意圖。 ... 束電位與坩鍋示意圖,一組可變直流電源 ......
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    日期:2024-05-16
    2012年12月13日 - 熱蒸鍍原理熱蒸鍍主要涉及兩個基本過程:材料受熱蒸發和凝結於基板(substrate)上。 ... 電子束蒸鍍(E-Gun Evaporation)、離子束輔助蒸鍍(Ion-Beam Assisted ... 摘要本實驗的主要目的為學習操作熱蒸鍍機、認識基本的真空概念、抽 ......