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日期:2024-04-25
陽極接合技術常被應用於微機電元件的組裝,是目前微機電製程中相當倚重. 的一種接合技術,其主要 ... 關鍵詞:陽極接合、可變電壓波形,電極形狀。 .... 接合原理說明....
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日期:2024-04-27
1.2.1 陽極接合(Anodic bonding) . ...... 製程[15-19]主要原理是利用親水化預處理使表面呈現親水性,將之加熱退火時界. 面處會產生大量的Si-OH,Si-OH 與水分子則 ......
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日期:2024-04-28
1992年7月31日 - 對於此兩種材料的接合應用而言,陽極接合實屬其中最方 ... 陽極接合之原理簡述如下,對兩熱膨脹係數相當接近之材料,如矽與派萊克斯玻璃,....
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日期:2024-04-29
陽極接合原理在特力屋購物網共搜尋到183項商品,想比較價格、規格,查看網友使用陽極接合原理的心得,都歡迎到「特力屋購物網」。...
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日期:2024-04-25
在研究中, 我們探討了濺鍍及陽極接合技術的基本原理,並以穩健設計的方法製作濺鍍玻璃薄膜,也分析了接合電流的模型和特性。 最後我們去分析玻璃薄膜的成分, ......
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日期:2024-04-30
由於陽極接合溫度為400 ~ 450oC,在降溫至室溫時,因鍵合晶圓的熱膨脹係數不同, ... 直接鍵合法(Direct bonding)[3]於1986年由Lasky等人提出,主要原理是利用氧 ......
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日期:2024-04-25
陽極接合技術是微機電技術中一項相當重要的製程技術。本論文即對此技術做較深入的研究。在研究中,我們探討了濺鍍及陽極接合技術的基本原理,並以穩健設計的 ......
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日期:2024-04-24
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