search:陽極接合原理相關網頁資料

瀏覽:876
日期:2024-04-17
陽極接合技術透過離子化玻璃將部件封裝在晶圓上。在玻璃/矽/玻璃的疊層接合中, 三層可以同時進行接合,可提高功能性和產量。這項技術的前提是雷射預接合技術,以將玻璃晶圓逐點固定在矽晶圓上。...
瀏覽:530
日期:2024-04-15
在研究中, 我們探討了濺鍍及陽極接合技術的基本原理,並以穩健設計的方法製作濺鍍玻璃薄膜,也分析了接合電流的模 型和特性。 最後我們去分析玻璃薄膜的成分,並做陽極接合後之接合強度測試。 我們了解濺鍍玻璃薄膜製作,濺鍍機的電漿功率 ......
瀏覽:899
日期:2024-04-14
圖3-6、陽極接合原理示意圖.....21 圖3-7、V 型微流道試片製作流程圖.....22 圖4-1、實驗系統示意圖.....24 圖4-2、α-step 500 機台量測平台.....25 ......
瀏覽:1201
日期:2024-04-11
同時也是運用最為廣泛的接合技術。陽極鍵合的優點有:(1)在低於玻璃熔點的溫度將矽(Si)和玻璃(Glass)鍵合、(2 ... 直接鍵合法(Direct bonding)[3]於1986年由Lasky等人提出,主要原理是利用氧原子與結合面的矽原子產生Si-O-Si的化學鍵結 ......
瀏覽:539
日期:2024-04-14
同時也是運用最為廣泛的接合技術。陽極鍵合的優點有:(1)在低於玻璃熔點的溫度將矽(Si)和玻璃(Glass)鍵合、(2 ... 直接鍵合法(Direct bonding)[3]於1986年由Lasky等人提出,主要原理是利用氧原子與結合面的矽原子產生Si-O-Si的化學鍵結 ......
瀏覽:1427
日期:2024-04-16
同時也是運用最為廣泛的接合技術。陽極鍵合的優點有:(1)在低於玻璃熔點的溫度將矽(Si)和玻璃(Glass)鍵合、(2 ... 直接鍵合法(Direct bonding)[3]於1986年由Lasky等人提出,主要原理是利用氧原子與結合面的矽原子產生Si-O-Si的化學鍵結 ......
瀏覽:773
日期:2024-04-10
1.2.1陽極接合(Anodic bonding).....2 1.2.2直接接合(Direct bonding).....4 1.2.3共晶接合(Eutectic bonding) .....5 1.2.4黏著接合(Adhesive bonding) .....6 1.2.5玻璃介質接合(Glass frit ......
瀏覽:974
日期:2024-04-10
圖 2- 11 陽極接合原理 17 圖 2- 12 化合物滯留時間示意圖 18 圖 3- 1 微流道圖形形式 21 圖 3- 2 微流道的佈局 22 圖 3- 3 濕式蝕刻微流道製作流程圖 25 圖 3- 4 乾式蝕刻微流道製作流程圖 26 圖 3- 5 微流道(寬200μm、深100μm)之SEM圖 27 圖 3- 6 螺旋型微流道SEM圖...