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![真空系統實務]()
www.ccut.edu.tw工作原理：將真空裝置內的氣體輸送到較高壓力. 的外部而排出。 (a)正排氣幫浦： ... 冷陰極離子真空計. □ 熱陰極離子真空計.瀏覽：1320 -
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120.118.224.101熱電耦真空計. 基本原理：. 系統內氣體分子與發熱體碰撞並帶走熱量，壓力愈高，則 氣體分子數目愈多，帶走的熱量也愈多，則發熱體的溫度愈低，熱電偶壓降減少.瀏覽：326
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