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![Chapter 4 真空測量]()
www.google.com.tw4.3 粗略到中度真空範圍用的真空計. 4.4 高真空及超高真空範圍用的真空計. 4 5 部分壓力分析儀. 4.5 部分壓力分析儀. 4.6 真空計的校正. 4 7 抽氣速率的 ...瀏覽：1103 -
![真空計]()
www.google.com.tw真空氣壓計（Vacuum pressure gauges）簡稱真空計（Vacuum gauges）。 ... 直接從 電流表A觀察電阻值變化，經過適當的轉換校正，可由電流表A直接讀取真空壓力值。瀏覽：1268
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日期：2024-05-10
程，完成多軸電容式加速度計之製造與整合。 二、微機電加速度計原理. 首先，簡單的
說明加速度計的感測原理。本文. 的加速度計設計如圖1 所示，包括質量塊(M)、阻....
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日期：2024-05-11
MEMS壓力感測器在設計原理上，主要可分為壓阻式與電容式。壓阻式MEMS壓力計
結構圖如圖1所示，其結構主要包含基板、薄膜與壓阻材料，其中基板會與薄膜形成 ......
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日期：2024-05-10
2009年11月10日 ... 電容式壓力感測器主要是利用平行電容板的原理，當感測器上隔膜受壓力而變形 ...
為了提高感測時的線性度（linearity），此壓力計還可以藉由接觸 ......
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日期：2024-05-05
1920年代：粗真空1013~0.001mbar,壓力計：液位壓力計、水銀壓力計、壓縮式、麥式
。 ... 基本原理：. 莢艙式壓力計. 量測範圍：. 特性：. 隔膜式真空計. 隔膜式真空計 ...
電容式真空計. 基本原理：. 電容式真空計. 量測範圍：. 特性：. 熱傳導式真空計. 引言....
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日期：2024-05-12
MechanicalSystem,MEMS)與熱壓技術製作電容式壓力感器。模具方面可分 ..... [3]，
其主要利用平板電容原理進行量測，受壓力作用時兩平行板間距離改. 變造成電容 ......
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日期：2024-05-12
電容式氣囊，包含兩個用以支撐電容極片的陶瓷元件，並接合在一起以形. 成一空腔，
... (b) 電位計式壓力感測器：由膜片或氣囊所產生的移動量，經由一系列的槓桿. 機械
傳送 .... (b) 壓阻式或"厚膜"壓力感測器：這種轉換器的動作原理乃應用壓阻效應，此....
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日期：2024-05-10
其構造及原理與福丁式水銀氣壓計相同，即不同者在水銀槽之構造，唧筒式氣壓計之
水銀槽上下端均以不鏽鋼封閉，水銀槽頂端開一管口，連接橡皮管到壓力槽，其壓力
......
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