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CMOS MEMS 微型加速度計 - 微感測器與致動器產學聯盟
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日期：2024-05-11
程，完成多軸電容式加速度計之製造與整合。 二、微機電加速度計原理. 首先，簡單的
說明加速度計的感測原理。本文. 的加速度計設計如圖1 所示，包括質量塊(M)、阻....看更多
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